ASML により EUV 出力が 1,000 ワットに増加し、マシンあたりのチップ数が 50% 増加
ASML 技術者の Michael Purvis 氏と Tune van Gogh 氏によって確認されたこの成果には、概念実証のデモンストレーションや短期間の実験は含まれていません。同社によれば、この新しい光源は工場で準備された条件下で動作し、2010年後半には商用システムに導入される可能性があるという。これは、増加に対する強い反応を表しています…
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